应用
生产过程中需对包装物进行密封性控制，以防止货物损坏。必须及时发现可能泄漏的包装，并采取措施。本系统主要用于批量生产或包装中检查包装的密封性。
设计
首先，将包装物放置在一个密封的容室内。然后，将容室内部抽成真空，再灌入氦气。如果包装已泄漏，氦气便会进入包装内，容室内的压力就会下降。最后抽出氦气，打开容室，将包装物取出。

特点：
■ 阀体材质为金属铝
■ 密封材质为EPDM
■ 介质：中性气体
■ 介质温度：-10℃至50℃
■ 负载周期：连续运行
■ 连接口：气源端为螺纹接口，
真空端为三夹式接口
清洁型：供分析用的阀门和阀组组合都经过彻底的清
洗，有机物含量在ppb级
■ 真空阀可达到 1 x 10-8 mbar.l/s
■ 真空阀组也可达到 1 x 10-8mbar. l/s
■ 已考虑到阀组的扩展。根据自动化水平的要求，有时还会增加阀门